穿上凈化服、戴上口罩、經過強風的“風淋室”后，記者走進了上海微系統與信息技術研究所信息功能材料國家重點實驗室。展現在眼前的是一個擺滿了高科技儀器設備的潔凈世界，許多穿著凈化服、戴著口罩的科研人員，在不同的機器之間穿梭忙碌。
這里是我國最先進的高端硅基集成電路晶圓片材料ＳＯＩ研發平臺，也是中科院上海微系統與信息技術研究所所長王曦院士為之奮斗十多年的地方。
這些看上去光潤無瑕、如同一面面灰色圓鏡的ＳＯＩ材料，專業名稱叫“絕緣體上的硅”，是國際公認的２１世紀新一代硅基材料，在低壓、低高溫電路、耐高溫電路、微機械傳感器、光電集成等方面都有重要應用。
早在２０世紀８０年代初，中科院就已經開始ＳＯＩ技術研究，但僅僅停留在論文上，從沒有走出實驗室。眼看國際上ＳＯＩ產業化應用技術突飛猛進，１９９８年，王曦放棄國外優越生活，毅然回國挑起了中科院ＳＯＩ項目的“大梁”。
“現在回想起來，當時選擇回國，是我人生中最為重要的一個正確決定。作為一名科研人員，只有回到祖國的懷抱，才能腳踏實地去探索，才能實現自己的志向，才會大有作為。”王曦說。
為了盡快趕上國際先進水平，王曦帶領科研團隊通宵達旦地在實驗室里加班加點，他們采用工程化管理，每個階段都設定了指標。“離子注入”是王曦鉆研多年的ＳＯＩ材料制備中的關鍵技術?；貒?，王曦成功地利用創新技術完成了ＳＯＩ材料技術工程化研究，建立了生產線。
剛開始，生產線上做出來的ＳＯＩ硅片瑕疵斑點很多，如同一片片“麻餅”。經過漫長的艱苦跋涉、晝夜奮戰，他帶領團隊終于生產出一個個光潤無瑕、晶瑩剔透的“三明治”圓片。
“王老師工作極其認真細致、精益求精，大至行業發展趨勢、課題研究方向，小到學生們每一篇論文的標點符號，他都事無巨細親自把關。因此，他每天的時間總是排得滿滿的，我們經常在半夜里收到他的電子郵件。”王曦的學術秘書俞文杰說。
創建公司、將ＳＯＩ材料產業化是王曦人生中第二個重要選擇。２００１年，在國家有關部委和中科院領導的支持下，王曦帶領ＳＯＩ項目組骨干創建了上海新傲科技有限公司，從“科學家”轉型為“企業家”。
２００２年，中國第一批商業化生產的ＳＯＩ圓片問世，這讓美國硅谷驚呆了。當地《半導體商業新聞》曾驚呼：就像在一夜之間，中國“突然冒出了一個現代化的高端集成電路硅基片企業”。
２００６年，王曦負責的“高端硅基ＳＯＩ材料研發和產業化”項目榮獲國家科技進步獎一等獎，在關鍵技術上取得一系列重大創新，申請國家發明專利３２項，并已獲授權１６項。
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